要知道,从90纳米到7纳米芯片的生产,使用的其实都是一样的DUV光刻机★★★,区别仅在于数值孔径★★、分辨率★、套刻精度等具体参数★,生产7纳米芯片要求的精密程度比90纳米或28纳米要高得多★★★。做到能生产28纳米芯片的光刻机★★,离7纳米光刻机已经是大大前进了一步★★。虽然国产28纳米光刻机的分辨率和套刻精度都还比不上阿斯麦2006年推出的DUV 光刻机XT的水准,但如果采用多重曝光工艺,应可支持14纳米制程芯片的生产。
(作者简介★:余盛,硬科技财经作家★、荷兰商学院行业导师,著有《芯片战争》《芯片浪潮》《手机战争》《金龙鱼背后的粮油帝国》等作品。欢迎关注公众号“余盛”★★,第一时间阅读余盛本人的原创科技、财经和历史类深度评论文章★★。)
面对日本和中国同行快速追赶的2025年,阿斯麦缺乏信心能有足够好的市场表现,其CFO戴厚杰(Roger Dassen)干脆宣布自2025年起★★,公司将不再按季度公布新增订单金额★★★。荷兰政府也坐不住了。荷兰政府早就对美国施压限制阿斯麦对华出口感到很不满,认为这影响了荷兰企业的经济利益★。2025年1月★,荷兰首相迪克·斯霍夫(Dick Schoof)在出席世界经济论坛2025年年会期间时,再次强调荷兰希望在阿斯麦对华出口问题上自行决定政策★★。
阿斯麦退出中国市场★★,给了竞争对手可乘之机。2023年12月,全球第二大光刻机厂商尼康宣布推出浸润式 ArF 光刻机新品NSR-S636E★★★,于2024年1月开售★★。在此之前,尼康已中标了上海积塔半导体招标的ArFi浸润入式DUV光刻机,说明上海积塔半导体很可能是尼康新款光刻机的首个客户,甚至可能是共同研发伙伴,就像当年台积电与阿斯麦共同研发浸润式光刻机和EUV光刻机一样。尼康的NSR-S636E是一款高性能的光刻设备,分辨率≤38纳米★★,数值孔径(NA)1.35★★,套刻精度(MMO)≤2★★★.1纳米,最高可满足7纳米工艺的芯片制造需求★★。
有意思的是,阿斯麦股市表现差★★★,但阿斯麦的最大客户台积电,2024年的股市表现却相当优异★★,市值从年初的5200亿美元,涨到年末的11000亿美元,差不多翻了一倍★★。在阿斯麦最惨的第三季度,其季报显示营收和净利润的同比增长分别为12%和15%。同期★,台积电交出的却是一份相当靓丽的季报★★:营收和净利润同比分别增长39%和54%。我们知道,2024年度AI概念大热★,市场对AI芯片的需求非常旺盛★★★。受此影响,台积电高性能计算业务早已超过手机成为台积电最重要的业务,占收入的比重高达53%(Q4)★★★,AI芯片业务又是其高性能计算业务中增长最快的。其最先进制程3纳米占整体晶圆收入的比重提高到了26%(Q4)★★★。
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比EUV销售差更大的业绩影响因素,是非市场因素的政治干扰。中国原本是阿斯麦最大的客户★,2024年第一季度,中国市场占阿斯麦销售额的49%。但受美国政府对光刻机出口中国的限制措施的严重影响★,中国市场给阿斯麦贡献的销售占比持续下降★★,2024年第四季度仅有27%,预计2025年将下降至20%左右★。2024年9月,荷兰政府被迫进一步扩大了对华光刻机出口限制范围,要求阿斯麦向中国出口特定型号的浸润式深紫外(DUV)光刻机及相关服务时需申请许可。这是阿斯麦2024年第三季度新增订单量大跌的重要原因★★★。
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阿斯麦在高端光刻机供应上的垄断被打破,2025年的中国芯片制造业崛起,值得期待★。
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的股市表现很不好看。年初市值约2800亿美元,一年过去★★★,到2025年年初,市值却仍然是2800亿美元。由于第三季度的财报披露新增订单量仅为26亿欧元,远低于分析师预期的54亿欧元,导致市场信心大跌,阿斯麦的市值在11月15日跌到年内最低谷的2591亿美元★★。与7月10日最高峰的4324亿美元相比★★,足足跌去了40%。
几年前,我在写《芯片战争》这本书的时候就认为★★★,中国如果要想在光刻机上突围,一定得找尼康合作★。尼康毕竟是光刻机行业老二★,虽然差阿斯麦老远,却比中国的光刻机厂强太多了。国际合作和自主研发,两手都要硬。国际合作是优先选项,自主研发是备胎选项。
台积电最先进制程所需要的EUV光刻机只能向阿斯麦采购,但台积电对EUV的强烈需求弥补不了阿斯麦其它客户的EUV订单损失★★★。阿斯麦2024年仅卖了44台极紫外(EUV)光刻机,比上一年减少9台,相当于下降了17%。这主要是受英特尔★★、三星和SK海力士等客户的需求萎缩有关★★。特别是英特尔,市值大跌至可怜的800多亿美元,连CEO都辞职了★★★,已经没钱去采购昂贵的EUV。EUV是阿斯麦营收和利润的重头戏,EUV的销售低迷自然对阿斯麦的股价产生了重大影响。
不仅是尼康,中国的光刻机厂商也在努力缩小和台积电的差距。早在2020年6月,上海微电子设备有限公司就透露将在2021-2022年交付首台国产28纳米工艺浸没式光刻机★★。2024年9月,工信部发布的《首台(套)重大技术装备推广应用指导目录》显示,国产氟化氩光刻机已具备 65 纳米分辨率及 8 纳米套刻精度。有消息称,2025年1月7日,中国首台国产28纳米芯片光刻机由上海微电子装备(集团)股份有限公司研发成功并交付使用★,核心零部件国产化率超90%★★★,单次曝光能直接生产出28纳米级别的芯片,配合套刻精度约为1★★★.9纳米的工作台★★,经过多次曝光后★,甚至可以实现11纳米制程工艺的芯片生产★★。如果该消息属实★,将标志着中国芯片产业在关键技术上取得了重大突破!
尼康和佳能曾在1990年代之前主导光刻机市场,后来在浸润式光刻机的竞争中被阿斯麦打败★★,基本退出高端光刻机领域的竞争。这回尼康卷土重来★★★,是时隔二十多年首次推出高端光刻机产品,瞄准的正是阿斯麦退出的中国市场。尼康野心勃勃★,计划在2026年之前将其对中国市场的光刻机出货量提高到原来的三倍。当然,尼康也宣称其会在“遵守规则的同时扩大业务★”★。个人认为,这句话背后的潜台词是★:尼康的光刻技术不含任何的美国技术成份★,所以可以不受美国相关制裁政策的约束。
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